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HORIBA GR-224FD 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器(Auto Pressure Regulator, APR),其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力,從而實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。
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