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        PRODUCT CENTER

        產品中心

        當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計HORIBASEC-E 系列數字質量流量控制器

        SEC-E 系列數字質量流量控制器
        產品簡介:

        SEC-E 系列數字質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可實現高水平的氣流控制。作為一種多功能組件,SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業。

        產品型號:HORIBA

        更新時間:2025-04-07

        廠商性質:代理商

        訪問量:346

        服務熱線

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        產品介紹
        品牌HORIBA/堀場價格區間面議
        產品種類差壓式介質分類氣體
        產地類別進口應用領域環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
        控制范圍10 SCCM 至 200 SLM支持氣體多種標準及特殊氣體
        控制精度±1.0%響應時間≤1秒
        通信接口模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS

        HORIBA SEC-E 系列數字質量流量控制器

        產品概述

        HORIBA SEC-E 系列數字質量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱 MFC),適用于各種工業與科研應用。該系列產品通過熱式傳感器檢測氣體流量,并搭配高響應電磁閥進行精準控制,支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍,性能穩定,控制精度高。

        產品特點

        • 高精度熱式傳感器
          內置熱傳感器可實現實時流量測量,確保流量控制的高精度與重復性。

        • 電磁閥控制
          快速響應的電磁閥結構,具備良好的流量調節能力,適合動態工況。

        • 多氣體兼容性
          支持多種標準及特種氣體,如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。

        • 寬流量控制范圍
          控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM,涵蓋從實驗室級別到工業規模的多種需求。

        • 數字/模擬信號兼容
          提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數字通訊(RS485, DeviceNet, PROFIBUS)接口,便于系統集成。

        • 緊湊設計,易于安裝
          模塊化結構,體積小,適合集成到各類設備或系統中。

        技術規格


        參數數值
        可控氣體種類多種標準及特殊氣體
        流量控制范圍10 SCCM ~ 200 SLM(以 N? 為基準)
        控制精度±1.0% F.S.(標準型)
        重復精度±0.2% F.S.
        響應時間≤1 秒
        通訊方式模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS
        供電電壓±15VDC 或 +24VDC
        接頭類型1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選
        操作溫度范圍5 ~ 50°C














        SEC-E 系列數字質量流量控制器


        適用場景

        半導體制造

        • 薄膜沉積(CVD, PVD)

        • 離子注入

        • 等離子蝕刻

        • 光刻工藝輔助

        工業控制

        • 氣體混合系統

        • 燃燒器氣體配比

        • 工業氣體監控

        科研實驗

        • 氣體傳感器實驗

        • 微反應器進氣控制

        • 生物技術及制藥行業實驗


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