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        PRODUCT CENTER

        產(chǎn)品中心

        當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

        HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器
        產(chǎn)品簡介:

        SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能,用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

        產(chǎn)品型號:SEC-Z512/514//522/524

        更新時間:2025-04-21

        廠商性質(zhì):代理商

        訪問量:956

        服務(wù)熱線

        立即咨詢
        產(chǎn)品介紹
        品牌HORIBA/堀場價格區(qū)間面議
        產(chǎn)品種類差壓式介質(zhì)分類氣體
        產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
        控制范圍10 SCCM ~ 500 SLM(以氮氣 N? 為基準)支持氣體多種氣體(支持用戶自定義設(shè)置)
        控制精度±1.0% S.P.響應(yīng)時間≤ 1 秒
        通信接口模擬(0-5 V / 4-20 mA)、數(shù)字、DeviceNet?、EtherCAT?

        SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

        產(chǎn)品概述

        HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),集成多氣體/多量程功能,具備出色的精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光纖制造等高要求工業(yè)過程控制場景。

        產(chǎn)品特點

        • 寬流量控制范圍
          控制范圍覆蓋 10 SCCM ~ 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。

        • 高控制精度
          控制精度高達 ±1.0% S.P.,裝配“可變 PID 系統(tǒng)",可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。

        • 多種通訊接口
          支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,便于系統(tǒng)集成。

        • 多供電及密封選項
          支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應(yīng)不同使用環(huán)境。

        • 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
          高可靠性設(shè)計,適應(yīng)嚴苛工業(yè)環(huán)境,減少維護頻次。

        技術(shù)規(guī)格

        HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

        HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

        適用場景

        • 半導(dǎo)體制造:CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工藝氣體精密控制

        • 光伏與光電子制造

        • 光纖預(yù)制棒與拉絲過程控制

        • 精密材料薄膜沉積(PVD/CVD)

        • 化學(xué)氣相反應(yīng)與配比混氣控制

        • 大氣/真空環(huán)境下的實驗室測試設(shè)備

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