HORIBA 的 XF-100 系列數字式液體質量流量計是一款專為半導體制造等高精度流體控制場景設計的儀器。

XF-100 系列數字式液體質量流量計

產品概述

HORIBA 的 XF-100 系列數字式液體質量流量計是一款專為半導體制造等高精度流體控制場景設計的儀器。該系列采用壓差測量原理，具備快速響應、高精度和潔凈設計等特點，適用于對液體流量控制要求嚴格的工藝環境。

主要技術特點

• 測量原理：基于壓差法，能夠在 100 毫秒內實現高速響應；若與壓電閥組合使用，響應時間可縮短至 0.8 秒以內。

• 測量精度：±0.8% 滿量程，適用于高精度流量控制需求。

• 潔凈設計：采用超潔凈結構，滿足半導體等對潔凈度要求較高的應用場景。

• 應用領域：主要用于半導體工藝中的液體流量監控與控制，如光刻、蝕刻、薄膜沉積等環節。

型號與規格

典型應用場景

• 半導體制造中的光刻、清洗、涂膠等工藝液體控制

• 光電顯示產業的液體配比系統

• 微流控與化學反應控制設備

• 高精度試劑配液與傳輸

• 激光加工冷卻液精控

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如果您對更大流量范圍或集成控制功能有需求，HORIBA 還提供 LF-F/LV-F 系列液體質量流量計/控制器，適用于更廣泛的工業應用場景。

如需進一步了解 XF-100 系列的應用案例、選型建議或與其他流量計的對比信息，請告知您的具體需求，我將為您提供更詳細的資料和建議。