LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷（Peltier）技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器，專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍，適用于等離子刻蝕（Plasma Etching）等高精度溫控應(yīng)用。

產(chǎn)品型號：LAUDA Semistat

更新時間：2025-06-26

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

實(shí)驗(yàn)室儀器及設(shè)備

高通量反應(yīng)模塊培養(yǎng)基制備器凍干機(jī) 恒溫器水浴/油浴/恒溫槽真空泵攪拌器/分散機(jī) 離心機(jī) 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀馬弗爐噴霧干燥器滅菌器電子滴定器瓶口分配器天平純水耗材純水器移液器蠕動泵重量稀釋器均質(zhì)器均質(zhì)袋

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產(chǎn)品介紹

品牌	LAUDA/勞達(dá)	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,電氣,綜合

LAUDA Semistat 熱電式過程恒溫器

產(chǎn)品簡介

LAUDA Semistat 是一款基于熱電制冷（Peltier）技術(shù)的高性能熱電式過程恒溫器，專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計。該系列設(shè)備提供 –20?°C 至 +90?°C 的溫控范圍，適用于等離子刻蝕（Plasma Etching）等高精度溫控應(yīng)用。與傳統(tǒng)壓縮機(jī)制冷系統(tǒng)相比，Semistat 系統(tǒng)能效更高、體積更小，非常適合安裝于潔凈室地板下，節(jié)省空間并降低能耗。

核心特點(diǎn)

節(jié)能環(huán)保：無壓縮機(jī)和制冷劑，能效高，能耗低。
緊湊設(shè)計：行業(yè)內(nèi)最小占地面積，適合地下安裝，節(jié)省潔凈室空間。
快速響應(yīng)：動態(tài)溫控系統(tǒng)，溫度穩(wěn)定性高達(dá) ±0.1?K。
低液量：極低的熱傳導(dǎo)液體量，減少能量損耗。
兼容性強(qiáng)：支持多種刻蝕設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)。
模塊化設(shè)計：便于現(xiàn)場維護(hù)和模塊更換。

技術(shù)參數(shù)

型號	工作溫度	最高工作溫度	最大加熱功率	20?°C 時制冷功率	最大泵流量（壓力）	外形尺寸（寬×深×高）	重量
Semistat S 1200	–20?°C	+90?°C	3?kW	1.2?kW	18.9?L/min（0.274?MPa）	116?×?232?×?470?mm	25?kg
Semistat S 2400	–20?°C	+90?°C	6?kW	2.45?kW	同上	116?×?300?×?560?mm	35?kg
Semistat S 4400	–20?°C	+90?°C	12?kW	4.4?kW	同上	194?×?300?×?560?mm	55?kg