HORIBA D700MG 高響應壓力非敏感質量流量控制器

產品概述

HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器，專為半導體及相關行業中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發。產品具備優秀的控制性能及自診斷能力，適用于刻蝕、沉積等關鍵制程。

產品特點

• 超快響應性能
  D700MG 實現了小于 100 ms 的響應時間（符合 SEMI E17-1011 標準），顯著提升系統動態性能，減少氣體滯后。

• 壓力擾動不敏感設計
  內部結構與算法支持壓力擾動補償，即使在進出口壓力波動（≤ ±70 kPa/s）時也能保持穩定流量。

• 小流量控制能力出眾
  支持 Bin101 至 Bin105 流量等級，可用于 2 SCCM 起的小流量精密控制（2 SCCM 以下不保證精度）。

• 智能狀態監控功能
  內置診斷系統，可記錄：

• 壓力和流量調零計數

• 閥門驅動變化次數

• 最大/最小流量和壓力變化 實現預防性維護和遠程故障預警。

• 增強的閥門關閉性能與耐腐蝕性
  采用 PFA（全氟烷氧基）噴嘴結構，有效抑制顆粒產生，提高化學兼容性與系統純凈度。

技術規格

典型應用場景

• 半導體刻蝕工藝（Etching）

• 原子層沉積（ALD）

• 化學氣相沉積（CVD）

• 封裝及材料氣氛控制

• OLED 顯示面板制造