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        PRODUCT CENTER

        產品中心

        當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計HORIBA SEC-N112/122MGM質量流量控制器

        質量流量控制器
        產品簡介:

        HORIBA SEC-N100系列數字式質量流量控制器適用于各種行業和應用。該控制器可以控制不同范圍的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。

        產品型號:HORIBA SEC-N112/122MGM

        更新時間:2025-04-10

        廠商性質:代理商

        訪問量:595

        服務熱線

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        產品介紹
        品牌HORIBA/堀場價格區間面議
        產品種類質量式介質分類氣體
        產地類別進口應用領域環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件
        控制范圍10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選通信模式和電源多種可選
        精度+/- 1.0%響應時間1s
        功能多氣體/多量程
        HORIBA SEC-N100 系列數字式質量流量控制器產品概述
          SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數字式質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫藥等領域。該系列支持多種通信協議,具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力,是新一代工藝控制系統的理想選擇。
         
        產品特點
         
         支持多種通信方式 
        • 數字/模擬通信
        • DeviceNet™
        • CC-Link™
        • PROFIBUS™
        • EtherCAT®

        高精度流量控制
        • 控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
        • 重復性好,穩定性高

        快速響應性能
        • 響應時間:≤1秒(T98)
        • 可變 PID 控制算法,確保不同氣體/不同流量下的穩定輸出

        多氣體/多量程功能

        • 支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程(Full Scale)設定
        • 降低庫存成本,提高設備通用性和靈活性

        高可靠性設計

        • 無運動部件結構,可靠性更高,適合長期穩定運行
        • 緊湊型設計,適配多種系統集成環境
        技術規格

        規格

        選擇通信模式

        選擇電源

        SEC-N112MG

        SEC-N122MG

        SEC-N132MG

        SEC-N142MG

        SEC-N172R

        數字通信

        ?RS485 F-NET協議

        模擬通信

        ?0?5VDC

        ±15VDC±5%

        HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。

        SEC-N114MG

        SEC-N124MG

        SEC-N134MG

        SEC-N144MG

        SEC-N174R

        DeviceNet™通信

        符合ODVA標準

        SEC-N115MG

        SEC-N125MG

        SEC-N135MG

        SEC-N145MG

        SEC-N175R

        CC-Link®通信

        模擬通信

        ?05VDC010VDC 420mA

        符合CC-Link®標準24VDC1332VDC

        SEC-N116MG

        SEC-N126MG

        SEC-N136MG

        SEC-N146MG

        SEC-N176R

        PROFIBUS™通信

        模擬通信

        ?05VDC010VDC 420mA

        符合PROFIBUS™標準24VDC1332VDC

        SEC-N117MG

        SEC-N127MG

        SEC-N177R

        EtherCAT®通信

        符合EtherCAT®標準24VDC


        適用行業與應用場景
        • 半導體制程設備(如 CVD、Etching、PVD)
        • 光電子器件制造
        • OLED 面板制程
        • 醫療與生物制藥氣體控制
        • 化學反應過程氣體定量注入
        • 實驗室氣體流量控制系統
         

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